山東六氟化硫|濟南六氟化硫|菏澤淄博六氟化硫在電力行業的應用
- 發布時間:2023-01-14
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山東六氟化硫產品簡介
六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體,分子量為146.07,熔點為-51℃,沸點為-64℃。淄博的六氟化硫分子結構呈八面體排布,鍵合距離小、鍵合能高,因此其穩定性很高。山東的六氟化硫具有良好的絕緣性能和滅弧性能,是新一代超高壓絕緣介質材料。濟南電子級高純六氟化硫是一種理想的蝕刻劑,可用六氟化硫蝕刻硅表面并去除半導體材料上的有機或無機膜狀物,并可在光導纖維的制造過程中,作為摻雜劑使用。
淄博六氟化硫產品指標
項目Items
單位
Units
指標
Index
六氟化硫(SF6)Sulfur hexafluoride
Vol./%
≥99.999%
(氧+氬含量)Oxygen+Argon(O2+Ar)≤
Vol.ppm
≤2
氮Nitrogen(N2)≤
Vol.ppm
≤2
四氟化碳Carbon tetrafluoride(CF4)≤
Vol.ppm
≤1
一氧化碳Carbon monoxide(CO)≤
Vol.ppm
≤0.5
二氧化碳Carbon dioxide(CO2)≤
Vol.ppm
≤0.5
甲烷Methane(CH4)≤
Vol.ppm
≤0.5
水分Moisture(H2O)≤
Vol.ppm
≤3
酸度Acidity(以HF計)≤
μg
≤0.1
可水解氟化物Hydrolytic fluoride(以HF計)≤
μg
≤0.8
總雜質含量Total impurity content≤
μg
≤10
顆粒Particle
μg
供需雙方協商
山東六氟化硫產品用途
電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑,廣泛應用于微電子技術領域,用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中六氟化硫用作生產摻氟玻璃的氟源。此外,六氟化硫還可作為絕緣氣體、示蹤劑、冷凍劑使用。
六氟化硫包裝、貯藏
六氟化硫充裝在鋼質無縫氣瓶中,鋼瓶一般容積為40L,鋼瓶型號為CGA590 QF-2,鋼瓶壓力為8.0MPa和12.5MPa。具體包裝規格可根據用戶要求定制更改。
六氟化硫儲存于陰涼、通風的庫房,遠離火種、熱源,庫溫不宜超過30℃,應與易(可)燃物、氧化劑分開存放,切忌混儲,儲區應備有泄漏應急處理設備。





