硅烷SiH4，又叫四氫化硅，是一種無色、與空氣反應并會引起窒息的化學氣體。是一種易燃的，有毒的危害性氣體。

硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用于高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。因其高純度和能實現精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷應用于微電子、光電子工業， 用于太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 并且是迄今上的大規模粒狀高純度硅的中間產物。硅烷的應用還在不斷出現, 包括用于陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成為許多新、新材料、新器件的基礎。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有寬的自發著火范圍和的燃燒能量，決定了它是一種高危險性的氣體。

硅烷氣體通常與空氣接觸會引起燃燒并放出很濃的白色的無定型二氧化硅煙霧。它對健康的首要危害是它自燃的火焰會引起嚴重的熱灼傷，如果嚴重甚至會致命。如果火焰或高溫作用在硅烷鋼瓶的某一部分會使鋼瓶在安全閥啟動之前爆炸。如果泄放硅烷時壓力過高或速度過快會引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒有自燃會非常危險，不要靠近。處理緊急情況的人員必須要有個人防護設備和適應當時情況的防火保護。

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